在光學(xué)精密加工領(lǐng)域，微納結(jié)構(gòu)元件的三維形貌檢測(cè)是保障器件性能的重要環(huán)節(jié)。以微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件為代表的精密光學(xué)元件，其特征尺寸已突破亞微米量級(jí)，對(duì)表面輪廓精度與結(jié)構(gòu)面形誤差的檢測(cè)要求達(dá)到納米級(jí)分辨率。若加工過程中產(chǎn)生的邊緣塌陷、周期畸變或面形偏差未能精準(zhǔn)識(shí)別，當(dāng)此類缺陷元件被集成至光通信模塊或成像系統(tǒng)時(shí)，將導(dǎo)致光束傳播相位失配、成像質(zhì)量劣化等問題，甚至造成整機(jī)系統(tǒng)的功能性失效。

中圖儀器共聚焦顯微鏡是一款多功能的光學(xué)三維測(cè)量?jī)x器，可實(shí)現(xiàn)微納尺度的表面三維形貌檢測(cè)，助力各行業(yè)研發(fā)、制造、質(zhì)量檢測(cè)的研究人員與工程師完成產(chǎn)品檢測(cè)需求，嚴(yán)控工藝質(zhì)量關(guān)。

光學(xué)光柵是基于精密微納加工技術(shù)制備的周期性衍射元件，通過微納尺寸溝槽結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用于光譜分析、激光調(diào)諧與光通信系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)精度直接決定器件的衍射效率和分辨率。

共聚焦顯微鏡可以對(duì)光柵式圖樣進(jìn)行3D檢測(cè)，自動(dòng)測(cè)量分析光柵深度和周期性間隔，監(jiān)控光柵關(guān)鍵尺寸良率。

不同周期的環(huán)形光柵圖樣

微透鏡陣列是由通光孔徑及浮雕深度為微米級(jí)的透鏡組成的陣列，其最小功能單元可以是球面鏡、非球面鏡、柱鏡、棱鏡等。因?yàn)閱卧叽缧　⒓啥雀撸沟盟軜?gòu)成許多新型的光學(xué)系統(tǒng)，完成傳統(tǒng)光學(xué)元件無法完成的功能。微透鏡陣列通過其高集成度與靈活的光場(chǎng)調(diào)控能力，正成為光學(xué)系統(tǒng)微型化與智能化的核心元件，在光纖通信、激光光學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用潛力巨大。

共聚焦顯微鏡可以對(duì)光學(xué)微透鏡陣列三維形貌進(jìn)行重建，檢測(cè)表面是否存在微缺陷，自動(dòng)分析透鏡矢高半徑等參數(shù)，驗(yàn)證其是否符合預(yù)期標(biāo)準(zhǔn)。