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SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。可覆蓋8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤(pán)，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì)，隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。

中圖儀器粗糙度輪廓儀可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械五金加工、汽車零部件、軸承、機(jī)床零部件、模具、光學(xué)零部件加工等行業(yè)。是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器，采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標(biāo)，計(jì)算機(jī)通過(guò)修正算法對(duì)光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，終還原出工件輪廓信息、粗糙度信息并以曲線圖顯示出來(lái)，通過(guò)軟件提供的分析工具可對(duì)輪廓、粗糙度進(jìn)行各種參數(shù)分析。

SuperViewW1光學(xué)3D輪廓測(cè)量?jī)x是一款用于精密器件及材料表面的亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。只需要操作者裝好被測(cè)工件，在軟件里設(shè)好視場(chǎng)參數(shù)，把物鏡調(diào)節(jié)到被測(cè)工件表面，選擇自動(dòng)聚焦后，儀器就會(huì)主動(dòng)找干涉條紋開(kāi)始掃描測(cè)量。然后自動(dòng)生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，完成工件表面形貌一鍵測(cè)量。

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓檢測(cè)儀是以白光干涉技術(shù)為原理的白光干涉儀，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)，具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測(cè)，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測(cè)軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備，能完成缺陷尺寸的在線檢測(cè)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車

SJ5730接觸式輪廓測(cè)量?jī)x的測(cè)量原理為直角坐標(biāo)測(cè)量法，即通過(guò)X軸、Z軸傳感器，測(cè)繪出被測(cè)零件的表面輪廓的坐標(biāo)點(diǎn)，通過(guò)電器組件，將傳感器所測(cè)量的坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔籔C機(jī)，軟件對(duì)所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算處理，標(biāo)注所需的工程測(cè)量項(xiàng)目。是測(cè)量各種機(jī)械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。

中圖儀器光學(xué)輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中，可以說(shuō)只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。