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中圖儀器3d光學輪廓儀設備可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。可廣泛應用于汽車零部件、半導體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高校科研院所等領域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。

SuperViewW1 玻璃表面粗糙度測量儀數秒內即可獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。其載物臺XY行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍可達10mm，在測量大尺寸的樣品時，可以選擇拼接測量（拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um）。

SJ5700S表面粗糙度測量儀器能實現對各種工件表面粗糙度的測量和分析。具有較大的測量量程（X軸200mm，Z軸0-450mm,Z0軸±20µm~±400µm），一次測量，可分析工件不同區域粗糙度，提高測量效率。

SJ5800粗糙度測試儀器具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時具備軸承輪廓度評價功能，是軸承、人工關節、精密模具、齒輪、葉片等領域的測量利器。

W1光學3d表面輪廓儀器采用白光干涉技術，結合具有優異抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細節，隨意翻轉縮放，都能輕松觀察、測量樣品的任意特征。