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SJ6000激光干涉儀檢測(cè)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。

GTS國(guó)產(chǎn)超精密激光跟蹤儀測(cè)量系統(tǒng)集激光干涉測(cè)距技術(shù)、光電檢測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理，同時(shí)具有μm級(jí)別精度、百米工作空間，主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測(cè)量，是高精度、便攜式的空間大尺寸坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。

中圖儀器SJ6000機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀是一種能夠測(cè)量機(jī)床精度的高精度測(cè)量裝置。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

中圖儀器SJ6000激光干涉儀檢測(cè)數(shù)控車(chē)床集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，它以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，是高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

GTS國(guó)產(chǎn)超精密激光跟蹤儀主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測(cè)量，集激光干涉測(cè)距技術(shù)、光電檢測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論于一體，在大尺度空間測(cè)量工業(yè)科學(xué)儀器中具有高的精度和重要性，是同時(shí)具有μm級(jí)別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。

SJ6000高靈敏度超精密激光干涉儀是利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。它集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。