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以共聚焦技術為原理的VT6000光學共聚焦掃描顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。儀器基于共聚焦顯微技術，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現器件表面形貌3D測量。

中圖儀器VT6000共聚焦激光掃描顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術，通過數碼相機針孔的高強度激光來實現數字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力；以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統。能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡擅長微納級粗糙輪廓的檢測，所展現的放大圖像細節要高于常規的光學顯微鏡。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。