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顯微測量儀
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中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡擅長微納級粗糙輪廓的檢測，所展現的放大圖像細節要高于常規的光學顯微鏡。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
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更新時間：2025-04-06
產品型號：VT6100
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三坐標測量儀
